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2004年08月31日

大容量ブルーレイディスクROM(BD-ROM)原盤製造装置『PTR−3000』の受注開始

〜低コストかつ従来比1/5の省スペースな一貫製造ラインでBD-ROM量産化準備を加速〜

ソニー株式会社
株式会社ソニー・ディスクテクノロジー

 ソニー株式会社と株式会社ソニー・ディスクテクノロジーは、映画など記録済みコンテンツ用のBD- ROM原盤(マスター)及びDVD-ROMの原盤製造装置『PTR−3000』を共同開発いたしました。株式会社ソニー・ディスクテクノロジーは、本装置の受注を今秋より開始します。

 本装置の特長は、低コスト、安定したディスク製造、装置小型化の実現です。原盤のカッティング工程には、世界で初めて青紫色半導体レーザーの熱記録方式を利用したフェーズ・トランジション・マスタリング(PTM)微細加工技術を採用し、原盤製造工程数を半分以上削減しました。製造装置全体の大きさは、床面積で従来のDVD-ROM原盤製造装置の約5分の1の省スペースを実現いたしました。さらに、本装置は、BD-ROMに加え、DVD-ROMの原盤製造を一台で行うことが可能です。

 今後、ソニー株式会社と株式会社ソニー・ディスクテクノロジーは、PTM技術を採用した原盤製造装置の提供を通して、大容量で美しいハイビジョン映像を楽しめるBD-ROMフォーマットの導入やサポートを積極的に進めて参ります。

 また、『PTR-3000』及び、従来のDVD製造ラインより小型化を実現したBD-ROMディスク量産レプリケーションラインを合わせたBD-ROM一貫量産試作ラインを、株式会社ソニー・ディスクテクノロジー静岡事業所に引き続き、米国インディアナ州テラホートにも設置する予定です。

  • 原盤製造装置『PTR-3000』
    原盤製造装置『PTR-3000』
  • 装置内のBD-ROM原盤
    装置内のBD-ROM原盤
 大容量を実現する次世代光ディスクの製造は、ディスクに記録するピット形状が小さいため、従来のDVDの原盤(マスター)製造装置をそのまま流用することが困難でした。

 本装置に採用したPTM技術は、電子ビームや遠紫外レーザーによる高密度記録で使用されるフォトレジストの代わりに、金属酸化物から成る無機レジストを使い、アモルファスから結晶への熱による相変化を利用するものです。この熱源には、波長405ナノメートルの民生用青紫色半導体レーザーを採用し、解像度の高いピットの微細加工を実現することができました。

 『PTR-3000』は、スパッター部、露光部、現像部から構成される簡素な構造となっております。製造工程においては、従来のガラス原盤とフォトレジストの代わりに、シリコンウェハーと無機レジストを使用することで、前処理や導電化処理等の工程が不要となりました。この結果、原盤(スタンパー)を直接複製化することが可能となり、現行メッキ装置と組み合わせた原盤製造工程を、11工程から5工程へと削減することに成功しました。


以 上

 

参考:

【PTM(フェーズ・トランジション・マスタリング)技術】
【電子顕微鏡による原盤の表面】
  • トラックピッチ0.32µm
    トラックピッチ0.32µm
  • トラックピッチ0.74µm
    トラックピッチ0.74µm
【原盤製造工程数の削減:11工程から5工程へ】
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